12月3日,2024裝備制造業發展大會(EMF2024)在重慶盛大開幕。在此次大會開幕式主論壇上,舉行了 2024年度機械工業科學技術獎頒獎儀式。由溫州大學戴瑜興教授牽頭,溫州大學、湖南宇晶機器股份有限公司、湖南大學等單位共同完成的“泛半導體基片超精高效切磨拋裝備關鍵技術及應用”項目,榮獲機械工業科學技術獎技術發明一等獎。
2024年度機械工業科學技術獎一等獎頒獎儀式(左三為戴瑜興教授)
本項目針對12英寸硅錠加工的重大需求,首創U型布局的高速高效多線切割系統架構,發明了高速高效多線切割高可靠穩定控制技術、納米級磨拋機雙氣囊上下精確加壓技術和拋光盤溫度精準控制技術,研制出高端工業母機高速高效多線切割機、納米級研磨拋光機系列裝備,實現了產業化和國產化。
機械工業科學技術獎由中國機械工業聯合會和中國機械工程學會聯合主辦評選,用以表彰在機械工業科學技術進步活動中做出突出貢獻的組織和個人,是面向全國機械行業的綜合性科技獎項,也是國內在機械行業中惟一由國家批準的獎項。對該獎的優秀項目,可向國家級獎評審部門推薦,作為國家獎的候選項目。
人物簡介
戴瑜興,二級教授、博士生導師、溫州大學電氣數字化設計技術國家地方聯合工程研究中心主任,享受國務院政府特殊津貼專家、中國發明協會會士、中國電工技術學會會士,湖南大學兼職教授。主持完成國家重大科技專項、國家發改委科技項目、省部重大等科技項目近30項,發表高水平論文200余篇,授權發明專利120余件,參與起草國家標準6項。
近年來,以第一完成人,獲國家科技進步獎二等獎、中國機械工業科學技術獎特等獎 、一等獎、教育部科技進步獎一等獎、湖南省科技進步獎一等獎、中國專利金獎等科技獎項,牽頭獲“十三五”機械工業優秀創新團隊獎。中國發明協會授予“當代發明家”,中國電子學會優秀科技工作者,浙江省“三育人”先進個人。